專(zhuān)利名稱(chēng):嵌入柔性襯底的ZnO微米線陣列紫外探測(cè)器的制備方法
專(zhuān)利號(hào)\申請(qǐng)?zhí)枺?/strong>2018106829079
注 冊(cè) 地:中國(guó)
專(zhuān)利類(lèi)型:發(fā)明
專(zhuān)利領(lǐng)域:化學(xué)
聯(lián) 系 人:溫建梅
聯(lián)系方式:020-38743199
簡(jiǎn)介說(shuō)明:
當(dāng)前權(quán)利人:華南師范大學(xué)
本發(fā)明公開(kāi)了一種嵌入柔性襯底的ZnO微米線陣列紫外探測(cè)器的制備方法,所述方法以均勻放置在石英舟和石英管的鋅粉為原料,通過(guò)化學(xué)氣相沉積法制備得到氧化鋅微米線,然后將制備好的氧化鋅微米線轉(zhuǎn)移到洗凈的玻璃襯底上,排列整齊,滴入PVAL膠水覆蓋氧化鋅微米線表面,待膠水凝固后,將氧化鋅微米線陣列與PVAL襯底從玻璃襯底揭下,完成氧化鋅微米線陣列嵌入柔性襯底的工作,再在氧化鋅微米線陣列表面沉積金叉指電極,完成ZnO微米線陣列紫外探測(cè)器的制備。所述方法使用PVAL柔性襯底,可以最大程度地保護(hù)氧化鋅微米線陣列,和電極形成最好的接觸,使得器件高度一體化。